Емкостная спектроскопия глубоких центров в полупроводниках
Л.С. Берман, А.А. Лебедев
В книге обобщен опыт использования емкостных методов для исследования глубоких центров в полупроводниковых материалах и приборах. Рассмотрены определение параметров глубоких центров и профиля их концентрации, идентификация неконтролируемых глубоких центров, кинетика образования и отжига радиационных дефектов. Теоретический анализ сочетается с примерами из различных областей физики полупроводников и полупроводниковых приборов. Рис. — 87, табл. — 1, библ. назв. — 148.
Категорії:
Рік:
1981
Видавництво:
Издательство "Наука"
Мова:
russian
Сторінки:
177
Файл:
PDF, 7.87 MB
IPFS:
,
russian, 1981