Кремний - материал наноэлектроники
Герасименко Н.Н., Пархоменко Ю.Н.
Монография посвящена рассмотрению проблем и возможностей использования кремния для создания приборов и устройств наноэлектроники и нанофотоники. Даны представления о квантоворазмерных эффектах, возможности их проявления в кремниевых элементах и структурах, а также физических ограничениях.
Рассмотрены наиболее перспективные технологические возможности формирования наноразмерных кремниевых структур.
Рассмотрены наиболее перспективные технологические возможности формирования наноразмерных кремниевых структур.
Категорії:
Рік:
2007
Видавництво:
Техносфера
Мова:
russian
Сторінки:
356
ISBN 10:
5948361012
ISBN 13:
9785948361017
Файл:
DJVU, 7.32 MB
IPFS:
,
russian, 2007